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Eine Verschiebungsmessvorrichtung umfasst ein Skalenelement mit Skalengittern und einen Sensorkopf zum Auslesen der Skalengitter. Der Sensorkopf umfasst eine LED, eine Indexskala zum Übertragen von Ausgangslicht von der LED zu dem Skalenelement und eine Fotodetektoranordnung zum Erfassen modulierten Lichts von den Skalengittern, um Verschiebungssignale auszugeben. Die Fotodetektoranordnung umfasst ein transparentes Substrat; eine erste Fotodetektorgruppen, die in einer ersten Halbleiterdünnfilmschicht, die auf dem transparenten Substrat angeordnet ist, ausgebildet ist; einen Isolator zum Bedecken der ersten Fotodetektorgruppe und eine zweite Fotodetektorgruppe, die in einer zweiten Halbleiterdünnfilmschicht, die auf dem Isolator angeordnet ist, ausgebildet ist zum Empfangen von Licht, das Zwischenbereich zwischen den Fotodetektoren in der ersten Fotodetektorgruppe durchlaufen hat.
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