发明名称 Integriertes Gaszufuhrsystem
摘要 <p>Ein Gaszufuhrsystem umfaßt einen gemeinsamen Befestigungsblock (22), der die Bauteile (60, 70, 80, 90, 110, 130, 140) des Gaszufuhrsystems in einer vorgegebenen Anordnung haltert und Kanäle (36, 38, 42) zwischen den Bauteilen bildet, so daß Gas durch die Kanäle und Bauteile entlang eines vorgegebenen Strömungspfades strömen kann. Der Befestigungsblock (22) ist so geformt, daß zumindest ein Abschnitt (62) eines mechanischen Teils zumindest eines Bauteils in dem Block vorgesehen ist, wobei die Kanäle die Bauteile miteinander verbinden und der verbleibende Abschnitt jedes Bauteils, der nicht in dem Block ausgebildet ist, lösbar an dem Block befestigt ist. Elektrische Schaltungen zum Betrieb der Bauteile sind getrennt von den Bauteilen vorgesehen, so daß bei einem Ersatz eines Bauteils die nicht in dem Block (22) vorgesehenen Abschnitte der Bauteile ersetzt werden, ohne daß ein Ersatz der elektrischen Schaltungen erforderlich ist. Eine Zeitteilungs-Signalverteilungsschaltung kann die gemeinsame Verwendung elektrischer Steuer- und Verarbeitungsschaltungen für Bauteile einer Vielzahl von Gasblöcken eines Gasblock-Zufuhrsystems ermöglichen.</p>
申请公布号 DE10030115(A1) 申请公布日期 2001.02.08
申请号 DE2000130115 申请日期 2000.06.20
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER 发明人 MAHER, JOSEPH
分类号 F17D1/04;(IPC1-7):F17D1/04;B01J4/00 主分类号 F17D1/04
代理机构 代理人
主权项
地址