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发明名称 A HIGH TEMPERATURE MULTI-LAYERED ALLOY HEATER ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP1074041(A2) 申请公布日期 2001.02.07
申请号 EP19990914021 申请日期 1999.03.19
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SAJOTO, TALEX;SELYUTIN, LEONID;ZHAO, JUN;WOLFF, STEFAN
分类号 H05B3/68;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/509;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H05B3/68
代理机构 代理人
主权项
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