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发明名称 Monitoring of plasma constituents using optical emission spectroscopy
摘要
申请公布号 EP0942453(A3) 申请公布日期 2001.02.07
申请号 EP19990301573 申请日期 1999.03.02
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 STEJIC, GEORGE;GRAF, MICHAEL ANTHONY
分类号 H01J37/317;C23C14/48;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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