投影透镜系统

摘要

一种具有紧凑结构并且能够校正色象差的投影透镜系统。在该系统中,第一和第二透镜分别具有弱屈光力,第三透镜具有强的正屈光力,第四透镜用于校正由第三透镜产生的象差,第五透镜具有负屈光力。第一到第五透镜的表面中至少一个上形成有衍射光学元件。该衍射光学元件可校正色象差和球差,因此不须增加透镜的数目便可实现高分辨率并且还可降低生产成本。

主权项

1．一种投影透镜系统，包括：多个透镜；和在这些透镜表面之中至少一个表面上形成的至少一个衍射光学元件。