发明名称 A Microvia inspection system
摘要
申请公布号 IE20000355(A1) 申请公布日期 2001.02.07
申请号 IE20000000355 申请日期 2000.05.11
申请人 MV RESEARCH LIMITED 发明人 ADRIAN BOYLE;NIALL DORR;PETER CONLON;JAMES MAHON;MARK OWEN
分类号 G01N21/956;G01R31/309;G06T7/00;(IPC1-7):G01R31/309 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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