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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY EXAMINING STRUCTURED SURFACES OF OBJECTS
摘要
申请公布号 EP1073917(A2) 申请公布日期 2001.02.07
申请号 EP20000908950 申请日期 2000.01.27
申请人 LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 VEITH, MICHAEL;KNORZ, VOLKER;MAEHRINGER-KUNZ, EDGAR
分类号 G01B11/30;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/12;H01L21/66;(IPC1-7):G02B1/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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