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发明名称 Ion-implanting method and ion-implanting apparatus
摘要
申请公布号 GB0031674(D0) 申请公布日期 2001.02.07
申请号 GB20000031674 申请日期 2000.12.22
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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