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发明名称
Process for manufacturing high-sensitivity accelerometric and gyroscopic integrated sensors, and sensor thus produced
摘要
申请公布号
US6184051(B2)
申请公布日期
2001.02.06
申请号
US09/479189
申请日期
2000.01.07
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
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