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发明名称 Semiconductor processing method of forming a contact opening to a region adjacent a field isolation mass, and a semiconductor structure
摘要
申请公布号 US6184127(B2) 申请公布日期 2001.02.06
申请号 US09/243220 申请日期 1999.02.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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