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Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Wellenlängen 6 193 nm, insbesondere für die EUV-Lithographie, mit DOLLAR A mehreren Lichtquellen, DOLLAR A einer Spiegelvorrichtung zur Erzeugung sekundärer Lichtquellen, umfassend mehrere Spiegel, der bzw. die in Rasterelemente gegliedert sind. DOLLAR A Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß DOLLAR A die mehreren Lichtquellen miteinander gekoppelt werden, um die Austrittspupille des Beleuchtungssystems bis zu einem vorgegebenen Füllgrad auszuleuchten.
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