Flüssigkeits-Spritzpresssystem zum Vergießen von integrierten Halbleiterschaltungen

摘要

Ein Vergießsystem wird zum Vergießen von Halbleiterprodukten verwendet. Eine untere Formeinheit (12) umfasst einen Formtopf (15) und einen Formkolben (40). Mit einer Substrat-Beschickungseinrichtung (16) wird ein Substrat in einen Hohlraum (13) in der unteren Formeinheit (12) eingebracht. Eine Flüssigkeits-Abgabeeinrichtung (17) gibt ein Vergießmittel in den Formtopf (15) ein. Das Vergießmittel befindet sich in einem nichtgehärteten flüssigen Zustand, wenn es in den Formtopf eingebracht wird. An die untere Formeinheit (12) wird eine obere Formeinheit (11) geklemmt.