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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur Ablagerung von Filmen auf ein Substrat durch ausserachsiale Laserablation
摘要
申请公布号
DE69609880(T2)
申请公布日期
2001.02.01
申请号
DE19966009880T
申请日期
1996.03.07
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人
ITOZAKI, HIDEO;NAGAISHI, TATSUOKI
分类号
C01G1/00;C01G3/00;C23C14/28;C30B25/10;H01L39/24;H01P7/08;H01P11/00;(IPC1-7):C23C14/28;C23C14/24
主分类号
C01G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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