| 摘要 |
주사 전자 현미경 같은 주사 현미경은 샘플상에 주사되는 에너지 빔을 구비한다. 검출기는 샘플과 빔의 상호작용을 검출하고 샘플의 주사된 부분의 디스플레이 이미지발생을 위해 이용된 샘플 이미지신호를 발생한다. 샘플 이미지 신호는 이미지 메모리장치에 저장되고 이들 샘플 이미지신호의 일부가 디스플레이 이미지 발생을 위해 판독된다. 이것은 유효 배율이 너무 밀접한 주사선으로 샘플을 주사하지 않고 성취되게 한다. 다른 방법으로, 또는 부가하여, 빔은 소정의 한계치 이상의 배율에 대해서, 주사동안 단속적으로 커트된다. 주사가 각각 일련의 주사선을 구성하는 일련의 프레임으로 되어 있고, 이 커팅은 프레임 사이의 간격을, 즉, 선 사이의 간격을 변경시키거나, 선내에서 단속적 커팅을 야기한다. 이들 모두는 샘플상에 빔 지속기간을 단축하고, 초과 전하 빌드업의 위험을 감소한다. |
