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发明名称 Plasma-werkwijze voor het bekleden van vlakke substraten.
摘要
申请公布号 NL194087(B) 申请公布日期 2001.02.01
申请号 NL19890002089 申请日期 1989.08.17
申请人 SCHOTT GLASWERKE 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/52;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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