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发明名称
Pattern inspection method and pattern inspection device
摘要
申请公布号
GB0030680(D0)
申请公布日期
2001.01.31
申请号
GB20000030680
申请日期
2000.12.15
申请人
NEC CORPORATION
发明人
分类号
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G01R31/311;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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