| 发明名称 |
Polishing method and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6180020(B1) |
申请公布日期 |
2001.01.30 |
| 申请号 |
US19980029903 |
申请日期 |
1998.03.12 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
MORIYAMA SHIGEO;YAMAGUCHI KATSUHIKO;HOMMA YOSHIO;MATSUBARA SUNAO;ISHIDA YOSHIHIRO;KAWA-AI RYOUSEI |
| 分类号 |
B24B7/20;B24B27/00;B24B37/04;B24D3/00;B24D3/28;B24D3/34;B24D13/14;C08J5/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):C01B33/00 |
主分类号 |
B24B7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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