FRICTION VACUUM PUMP FOR USE IN A SYSTEM FOR REGULATING PRESSURE AND PRESSURE REGULATING SYSTEM COMPRISING A FRICTION VACUUM PUMP OF THIS TYPE

摘要

Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe für den Einsatz in einem System zur Regelung des Druckes in einer Vakuumkammer mit einem mehrstufigen Turbomolekularvakuumpumpenabschnitt (6), dessen Stufen jeweils aus einer Stator- und einer Rotorschaufelreihe (14 bzw. 13) bestehen; um eine Pumpe dieser Art auch bei schweren Gasen oder bei einem schwere Gase enthaltenden Gasgemisch zu Druckregelzwecken einsetzen zu können, wird vorgeschlagen, dass die Reibungsvakuumpumpe (1) mit einem vorvakuumseitigen Molekularpumpenabschnitt (11) ausgerüstet ist und dass im Übergangsbereich vom Turbomolekularvakuumpumpenabschnitt (6) zum Molekularvakuumpumpenabschnitt (11) bzw. im Übergangsbereich von molekularer Strömung zu viskoser Strömung ein Raum (21, 22, 23) vorhanden ist, in dem die Pumpwirkung unterbrochen ist.