摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Verbindungsvorrichtung (20) zur Verbindung zumindest einer stationären Fluidleitung (25) mit zumindest einer relativ dazu bewegbaren Fluidleitung (19), die eine Umlaufbewegung um eine Drehachse (A) ausführen kann. Um eine zur Erzeugung von Hochvakuum geeignete Verbindung zu schaffen, die ohne den störenden Einfluß von Dicht- und Schmiermitteln arbeitet, weist die Verbindungsvorrichtung (20) ein koaxial zur Drehachse (A) angeordnetes stationäres Teil (26), in dem zumindest eine mit der stationären Fluidleitung (25) verbindbare stationäre Anschlußleitung (34) vorgesehen ist, ein koaxial zur Drehachse (A) und zum stationären Teil (26) angeordnetes Drehteil (28), in dem zumindest eine mit diesem umlaufende Anschlußleitung (41) vorgesehen ist, die mit der bewegbaren Fluidleitung (19) verbindbar ist, und zumindest einen Ringkanal (43) auf, der zwischen dem stationären Teil (26) und dem Drehteil (28) vorgesehen ist und in den die stationäre und die umlaufende Anschlußleitung (34, 41) münden. <IMAGE></p> |