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发明名称 Cristobalite-contained silica glass, and silica glass jig made of same
摘要
申请公布号 EP0854116(B1) 申请公布日期 2001.01.24
申请号 EP19980105181 申请日期 1996.02.27
申请人 HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 发明人 INAKI, KYOICHI;SEGAWA, TOHRU;YOSHIDA, NOBUMASA;ENDO, MAMORU
分类号 C03B20/00;C03B32/02;C03C3/06;C03C14/00;(IPC1-7):C03C14/00 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
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