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发明名称 Process for drying micro-mechanical devices
摘要
申请公布号 EP0732557(B1) 申请公布日期 2001.01.24
申请号 EP19960102468 申请日期 1996.02.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BIEBL, MARKUS
分类号 H01L21/306;B01D1/00;B81B3/00;F26B5/00;H01L21/304;H01L49/00;(IPC1-7):F26B5/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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