发明名称 P-dotiertes Silizium-Makromolekül mit mehrflächiger Struktur, Verfahren zu seiner Herstellung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie basierend auf dem Silizium-Makromolekül aufgebauter Transistor
摘要
申请公布号 DE19881312(D2) 申请公布日期 2001.01.18
申请号 DE19981081312 申请日期 1998.09.09
申请人 SCHMITT, KLAUS;MARTIN, REINHOLD 发明人
分类号 H01L29/26;(IPC1-7):H01L29/26 主分类号 H01L29/26
代理机构 代理人
主权项
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