发明名称 |
P-dotiertes Silizium-Makromolekül mit mehrflächiger Struktur, Verfahren zu seiner Herstellung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie basierend auf dem Silizium-Makromolekül aufgebauter Transistor |
摘要 |
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申请公布号 |
DE19881312(D2) |
申请公布日期 |
2001.01.18 |
申请号 |
DE19981081312 |
申请日期 |
1998.09.09 |
申请人 |
SCHMITT, KLAUS;MARTIN, REINHOLD |
发明人 |
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分类号 |
H01L29/26;(IPC1-7):H01L29/26 |
主分类号 |
H01L29/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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