发明名称 Forming contacts on semiconductor substrates for radiation detectors and imaging devices using two photoresist layers
摘要
申请公布号 GB2352084(A) 申请公布日期 2001.01.17
申请号 GB19990016404 申请日期 1999.07.13
申请人 * SIMAGE OY;* SIMAGE OY 发明人 KONSTANTINOS EVANGELOS * SPARTIOTIS;HANNELE * HEIKKINEN
分类号 H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/146;H01L31/022 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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