| 发明名称 |
Measuring surface roughness and contaminant thickness using ellipsometry |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2352030(A) |
申请公布日期 |
2001.01.17 |
| 申请号 |
GB19990016485 |
申请日期 |
1999.07.14 |
| 申请人 |
* INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
VITTORIO * SIRTORI;LORENZA * LOMBARDI;MICHELE * MONOPOLI;FRANCO * ZAMBON |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/30;G01B13/02;G01N21/21;G01N21/88;G01Q60/00;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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