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发明名称 Electrostatic clamp
摘要
申请公布号 GB0029570(D0) 申请公布日期 2001.01.17
申请号 GB20000029570 申请日期 2000.12.05
申请人 TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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