供拉晶用的装置

摘要

该装置包括一个卷盘、一个夹具、和一根缆索,夹具制成用于夹持籽晶和晶锭,而缆索具有一个连接到卷盘上的第一端、一个连接到夹具上的第二端和绕卷盘卷绕的一部分。绕卷盘卷绕的这部分缆索将一法向力施加到卷盘的周边表面上,该法向力相应于缆索中的张力。卷盘和缆索相互作用以便产生一个摩擦力,该摩擦力在缆索的纵向方向上抵抗缆索相对于卷盘的滑动。夹具具有一选定的质量,以便在生长晶锭之前,将一预拉力施加到缆索上,这样使得当卷起缆索从源材料中提拉晶锭时,绕卷盘卷绕的这部分缆索上摩擦力的增加量,至少等于晶锭从熔化的源材料中生长在籽晶上时晶锭重量的增加量。

主权项

1．一种当按照直拉法在籽晶上生长晶锭时从设置在生长室内的半导体源材料中提拉单晶锭料的装置，该装置包括：一个卷盘，安装它用于绕轴旋转；一个夹具，制造它用于夹持籽晶和从源材料中生长在籽晶上的晶锭；和一根缆索，它具有一个连接到卷盘上的第一端、一个连接到夹具上的第二端和绕卷盘卷绕的一部分，绕卷盘卷绕的这部分缆索将一法向力施加到卷盘的周边表面上，该法向力相应于缆索的张力，卷盘和缆索相互作用，以便产生一个摩擦力，该摩擦力在缆索的纵向方向上抵抗缆索相对于卷盘的滑动，卷盘在第一方向上旋转时，能够松开卷盘中的缆索，因而放松缆索并降下夹具，而它在与第一方向相反的第二方向上旋转时，能够绕卷盘卷绕更多的缆索，因而卷起缆索并向上牵拉夹具；夹具，它具有一选定的质量，以便在生长晶锭之前，将一预拉力施加到缆索上，这样使得当卷起缆索从源材料中提拉晶锭时，绕卷盘卷绕的这部分缆索上摩擦力的增加量，至少等于晶锭从熔化的源材料中生长在籽晶上时晶锭重量的增加量，因而当生长晶锭时缆索不在卷盘上打滑。