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发明名称 DEPOSITION RESISTANT LINING FOR CVD CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1068371(A1) 申请公布日期 2001.01.17
申请号 EP19990912884 申请日期 1999.03.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BANG, WON, B.;YIEH, ELLIE;PHAM, THANH
分类号 C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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