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发明名称
A system for removing surface contaminants on moulds used in semiconductor packaging tools
摘要
申请公布号
SG77617(A1)
申请公布日期
2001.01.16
申请号
SG19970004554
申请日期
1997.12.18
申请人
ADVANCED SYSTEMS AUTOMATION LIMITED;DATA STORAGE INSTITUTE
发明人
FENG LU YONG;DONG SONG WEN;PAK GOW CHENG;QIONG CHEN;WEE TAY HUCK;THOMAS HWA TEIK HING;DAWN LIM LUI CHIN;KOON JASON NGIN YAN;HUI JASON SIM YAK
分类号
B08B7/00;(IPC1-7):B08B7/00;B29C33/72
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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