| 发明名称 |
A novel structural design for improving the sensitivity of a surface-micromachined vibratory gyroscope |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG77677(A1) |
申请公布日期 |
2001.01.16 |
| 申请号 |
SG19990001912 |
申请日期 |
1999.04.30 |
| 申请人 |
INSTITUTE OF MICROELECTRONICS |
发明人 |
ZHE WANG;SHRIDHAR UPPILI;MING LIN RONG;KING LIM MONG |
| 分类号 |
G01C19/56;G01P15/097;G01P15/10;(IPC1-7):G01C19/56;G01P9/04;G01P15/14;G01C19/42 |
主分类号 |
G01C19/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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