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发明名称 Point of use dilution tool and method
摘要
申请公布号 SG77642(A1) 申请公布日期 2001.01.16
申请号 SG19980001519 申请日期 1998.06.25
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 GROOTEGOED, JAMES, A.;VANELL, JAMES, F.
分类号 B24B55/12;B01D37/00;B01F15/04;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 B24B55/12
代理机构 代理人
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