| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 카세트 이송 장치(SMIF)에 관한 것이다. 즉, 본 고안은 다수의 반도체 제조 장치로 웨이퍼를 회수 또는 공급하는 웨이퍼 카세트 이송 장치에 있어서, 웨이퍼 카세트 이송 장치에 장착되는 다수의 웨이퍼들중 적어도 두 개이상의 돌출된 웨이퍼(protrusion wafer)를 정상적인 웨이퍼 언로딩 위치로 한 번에 밀어주는 리시트 암(reseat arm)을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 이송 장치를 포함한다. 따라서, 본 고안은 현재 사용하고 있는 기존의 불안정한 리시트 암을 변형하므로써 웨이퍼 카세트 이송 장치의 인덱스 레벨 및 불량 카세트로 인한 웨이퍼 돌출 현상이 발생되어도 안전하게 웨이퍼를 카세트로 밀어줄 수 있으며, 웨이퍼 파손(broken) 및 웨이퍼 스크래치(scratch) 등의 사고 요인을 완전히 제거할 수 있는 효과가 있다.</p> |
