| 摘要 |
<p>본 발명은 기판을 보관하고 있는 카세트를 자동으로 이송하는 자동 운송 장치와, 작업자의 지시에 따라 상기 카세트를 이송하는 수동 운송 장치와, 상기 카세트 내에 보관된 기판에 대하여 소정의 작업을 수행하는 설비를 포함하는 기판의 반출입 시스템 및 반출입 방법에 관한 것이다. 설비는 자동 운송 장치 또는 수동 운송 장치를 통해 이송된 카세트를 임시로 올려놓기 위한 포트와 상기 자동 운송 장치를 통해 상기 카세트가 이송된 경우에 상기 자동 운송 장치로부터 송신되는 통신 개시 신호를 수신하기 위한 센서를 가지는 로더와, 카세트에 보관된 기판에 대하여 실제 작업을 진행하는 작업대를 포함한다. 이때, 설비는 포트에 카세트가 올려 놓여진 경우에 센서에 통신 개시 신호가 수신되었는지 여부를 체크하여 이 신호가 수신된 경우에는 카세트가 자동 운송 장치에 의해 이송된 것으로 판단하여 설비를 자동 운송 모드로 설정하고, 상기 통신 개시 신호가 수신되지 않은 경우에는 상기 수동 운송 장치에 의해 이송된 것으로 판단하여 상기 설비를 수동 운송 모드로 설정한다. 이와 같이, 본 발명은 설비에 반송 모드를 별도로 설정할 필요 없이, 포트 위에 카세트가 놓여진 경우 통신 개시 신호의 유무로서 카세트의 반송 모드를 판단한 후 이후의 공정을 진행하기 때문에 생산 효율을 증대시킬 수 있다.</p> |
