| 摘要 |
<p>목적: 램프의 조도 조절이 간편하고 소형화 가능한 램프제어기를 채용한 웨이퍼 검사용 광학현미경에 관한 것이다. 구성: 제진대의 상부에 웨이퍼의 상을 확대하는 현미경, 웨이퍼를 조명하는 램프, 및 웨이퍼를 현미경으로 로딩하는 오토 로더가 설치된 구조의 웨이퍼 검사용 광학 현미경에 있어서, 상기 램프의 조도를 조절하기 위한 램프제어기는, 스위칭모드 파워서플라이(SMPS) 방식으로 전원전압을 상기 램프로 공급하는 전원장치와, 조도조절 버튼의 터치 조작에 의해 상기 전원장치에서 출력되는 전원전압을 업/다운 제어할 수 있도록 전압제어회로부를 갖추고 있으며, 상기 조도조절 버튼은 현미경을 통한 관측 위치에 인접하게 설치되어 관측 중에 램프의 조도를 가변시킬 수 있도록 한다. 상기 램프제어기는 상기 제진대의 제진 하중에 영향을 주지 않도록 제진대로부터 분리된 소정의 위치에 장착된다. 효과: 검사자가 현미경을 통해 웨이퍼를 관측하면서 웨이퍼를 조명하는 램프의 조도를 손쉽게 조절할 수 있으므로 작업자의 시력보호 및 노고 경감등, 작업 편의성이 향상됨과 동시에 램프의 사용수명을 연장할 수 있고, 또한 제진대의 상부에 램프제어기의 큰 중량을 가하는 것을 해결할 수 있어 현미경을 통해 관측되는 웨이퍼 확대상의 흔들림을 방지하여 검사의 정밀도를 높일 수 있다.</p> |
