| 摘要 |
유리 기판이 상부 개구를 갖는 회전 가능한 컵 안의 대(pedestal)위에 지지된다. 유리 기판과 모양이 실질적으로 비슷한 때는 유리 기재의 하부 표면의 외부 주변 에지와맞물리기 위해, 그의 상부 표면의 외부 에지를 따라 연장하는 리지를 갖는다. 유리 기판 위에 도포되는 레지스트를 용액이 유리 기판의 상부 표면에 적용된 후 회전 가능한 컵의 상부 개구가 차단되고 그때 회전 가능한 컵이 회전하여, 적용된 레지스트 용액이 원심력 하에서 균일하게 퍼지게 한다. |
