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发明名称
摘要
申请公布号 JP3123956(B2) 申请公布日期 2001.01.15
申请号 JP19970271187 申请日期 1997.10.03
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;B23Q3/15;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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