광선을 조종하는 방법 및 장치

摘要

본 발명은 적어도 2개의 지지 소자(20)에 의해 현수된 미러(16)로부터 광선을 반사하는 단계를 포함하는 광선을 주기적으로 조정하는 방법을 기술한 것이다. 지지 소자(20)중 적어도 하나가 미러 연부로부터 변위되고, 미러를 축에 대해 회전시키기 위해 미러로부터 변위된 전극으로 전압이 주기적으로 인가된다.