| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 운송장비의 도킹장치에 관한 것으로, 종래 기술은 걸쇠고리가 걸쇠홈에 결합되어 운반차와 공정장치를 결합한 상태에서 웨이퍼의 운반을 진행하기 때문에 걸쇠의 지속적인 사용시 마모가 일어날 수 있고, 도킹이 완료된 상태에서도 운반차가 놓이는 바닥의 경사 및 요철 등에 의해 운반차가 기울게 되어 운반 중인 웨이퍼에 손상을 줄 수 있는 바, 이에 본 고안은 웨이퍼를 운반하며 운반차의 전면에 체결부가 돌출 형성되는 운반차와, 상기 운반차에 의해 이송된 웨이퍼를 탑재하며 체결부에 대응되도록 체결홈이 형성되는 공정장치와, 상기 공정장치의 체결홈에 구비되어 운반차와 공정장치의 결합시 진공을 공급하는 진공수단과, 상기 공정장치의 체결홈에 구비되어 운반차와의 분리시 에어를 공급하는 에어공급수단으로 구성된 웨이퍼 운송장비의 도킹장치를 제공함으로써, 운반차와 공정장치간의 결합력을 향상시켜 외부의 진동이나 충격 등에 의해 웨이퍼 이송에 문제를 주지 않고, 체결부와 체결홈의 결합시 마모가 일어나지 않는 효과가 있다.</p> |
