| 摘要 |
<p>본 고안은 스텝퍼의 구성 어셈블리 중의 하나인 에어 스테이지의 구동 성능 저하를 신속히 검출하여 이를 해소할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 전체 시스템의 지지 기반인 금속재질의 스테이지 베이스(1)와, 상기 베이스(1) 상부 중앙에 위치하는 X-스테이지(8)와, X-스테이지 양측에 위치하는 Y-스테이지(6)를 포함하여 구성된 반도체소자 제조공정용 스텝퍼의 에어 스테이지에 있어서; 상기 스테이지 베이스(1)와, X-스테이지(8) 및 Y-스테이지(6)에 플랫 케이블(12)의 일단이 연결되고, 상기 플랫 케이블(12)의 타단에는 저항을 테스트하는 저항 테스터(11)가 연결되며, 상기 저항 테스터(11)에는 알람램프(13) 및 부저(14) 등의 표시기가 연결됨을 특징으로 하는 반도체소자 제조공정용 스텝퍼의 에어 스테이지가 제공된다.</p> |
