| 主权项 |
1.一种工件及光罩之整合机构,包括:摄影装置,用以摄取具有图形的光罩之整合用的光罩标记及工件之工件标记;控制机构,用以辨识该摄影装置所摄取之上述两标记的位置,然后进行运算记忆及控制;及移动机构,用以根据该控制机构的控制信号来移动工件或光罩,而来整合上述两标记的位置偏移;等之整合机构;并且,在上述两标记中,于一方的标记的内侧整合另一方的标记;其特征在于:藉上述摄影装置进行摄影后无法辨识上述另一方的标记时,以前次作业中辨识后记忆于上述控制机构中的另一方标记位置作为虚拟基准,而来运算上述两标记的位置偏移量,然后再进行两标记的整合作业。2.一种工件及光罩之整合方法,在工件标记的内侧配置光罩标记之后整合两标记的位置偏移量,其特征在于包括:第1制程,藉由摄影装置来摄取被搬送至载置台上之工件的工件标记,及抵接密合于上述工件且具有图案之光罩的光罩标记,然后辨识两标记的位置;第2制程,运算辨识后之上述两标记的位置偏移量,并根据该位置偏移量来藉由移动机构使工件或光罩移动于适当的曝光位置,而使上述两标记整合;及第3制程,用以记忆位于整合后的整合位置之上述光罩标记的位置;并且,上述第2制程包括:基本制程,上述两标记可藉由摄影装置来辨识时,该两标记的位置偏移量将被运算,同时根据被运算的位置偏移量来使上件或光罩移动,然后使两标记整合;及应用制程,上述光罩标记无法以摄影装置来辨识时,以前次作业中所记忆的光罩标记位置作为虚拟基准来运算与工件标记的位置偏移量,并根据该位置偏移量来使工件或光罩移动,然后使两标记整合。3.一种工件及光罩之整合方法,在光罩标记的内侧配置光罩标记之后整合两标记的位置偏移量,其特征在于包括:第1制程,藉由摄影装置来摄取被搬送至载置台上之工件的工件标记,及抵接密合于上述工件且具有图案之光罩的光罩标记,然后辨识两标记的位置;第2制程,运算辨识后之上述两标记的位置偏移量,并根据该位置偏移量来藉由移动机构使工件或光罩移动于适当的曝光位置,而使上述两标记整合;及第3制程,用以记忆位于整合后的整合位置之上述光罩标记的位置;并且,上述第2制程包括:基本制程,上述两标记可藉由摄影装置来辨识时,该两标记的位置偏移量将被运算,同时根据被运算的位置偏移量来使工件或光罩移动,然后使两标记整合;及应用制程,上述工件标记无法以摄影装置来辨识时,以前次作业中所记忆的光罩标记位置作为虚拟基准来运算与工件标记的位置偏移量,并根据该位置偏移量来使工件或光罩移动,然后使两标记整合。4.一种工件及光罩之整合机构,包括:摄影装置,用以摄取具有图形的光罩之光罩标记及工件之工件标记;控制机构,用以辨识该摄影装置所摄取之上述两标记的位置,然后进行运算记忆及控制;及移动机构,用以根据该控制机构的控制信号来整合上述两标记的位置偏移;并且,在上述两标记中,于一方的标记的内侧整合另一方的标记;其特征在于:上述两标记在摄影装置进行摄影时,上述另一方的标记是重叠于上述一方的标记的境界线上,而上述控制机构无法正确地辨识各标记时,是由一方的标记中可辨识的部份的形状来特定该一方的标记,并沿着该一方的标记的境界线来与另一方的标记分离后予以辨识,且于整合该一方的标记与根据上述境界线而分离后形成于上述一方的标记的内侧之另一方的标记的分离形状之后,运算上述两标记的位置偏移量,然后再进行两标记的整合作业。5.一种工件及光罩之整合方法,在工件的工件标记与光罩的光罩标记内,在一方的标记内侧配置另一方的标记,然后整合两标记的位置偏移量,其特征在于包括:第1制程,藉由摄影装置来进行摄影时,上述另一方的标记是重叠于上述一方的标记的境界线上,而上述控制机构无法正确地辨识各标记时,是由上述一方的标记中可辨识的部份的形状来运算外接于该一方的标记之外接四角形;第2制程,用以运算辨识内接于上述外接四角形的内接圆;第3制程,用以运算被辨识后的内接圆的中心位置,与根据该内接圆的境界线来分离上述另一方的标记后形成于内接圆的内侧之分离形状的重心位置之位置偏移量;第4制程,根据上述一方的标记与上述分离形状的重心位置之位置偏移量来进行整合作业;及第5制程,用以辨识上述一方的标记与上述另一方的标记,且于运算两标记的重心位置之位置偏移量后进行整合作业。6.一种工件及光罩之整合方法,在工件标记与光罩标记内,在一方的标记内侧配置另一方的标记,然后整合两标记的位置偏移量,其特征在于包括:第1制程,藉由摄影装置来进行摄影时,上述另一方的标记是重叠于上述一方的标记的境界线上,而上述控制机构无法正确地辨识各标记时,是由上述一方的标记中可辨识的部份的形状来求取外接于该一方的标记之外接四角形的对角位置的顶点座标;第2制程,由上述座标及XO=(X1+X2)/2之式(1)及YO=(Y1+Y2)/2之式(2)来求取内接于上述外接四角形的内接圆的重心位置(XO,YO)且由R={(X2-X1+1)+(Y2-Y1+1)}/4之式(3)来求取上述内接圆的半径R,然后辨识该运算后的上述内接圆;第3制程,用以运算辨识后的上述一方的标记的重心位置,与根据该一方的标记的境界线来分离上述另一方的标记之后形成于上述一方的标记的内侧之上述另一方的标记的分离形状的重心位置之位置偏移量;第4制程,根据上述一方的标记与上述分离形状的重心位置之位置偏移量来进行整合作业;及第5制程,用以辨识上述一方的标记与上述另一方的标记,且于运算两标记的重心位置之位置偏移量后进行整合作业。7.一种工件及光罩之整合方法,在工件的工件标记与光罩的光罩标记内,在一方的标记内侧配置另一方的标记,然后整合两标记的位置偏移量,其特征在于包括:第1制程,藉由摄影装置来摄取位于载置台上之工件的工件标记与光罩的光罩标记,并以控制机构来辨识两标记的位置;及第2制程,用以运算辨识后的上述两标记的位置偏移量,并根据该位置偏移量,藉由移动机构来使工件或光罩移动至适当的曝光位置,然后使上述两标记整合;并且,上述第2制程包括:基本制程,上述两标记可藉由控制机构来正确地辨识时,该两标记的位置偏移量将被运算,同时根据被运算的位置偏移量来使工件或光罩移动,然后使两标记整合;及应用制程,各标记无法以控制机构来辨识时,由上述一方的标记内可辨识的部份之形状来运算外接于该一方的标记之外接四角形,同时在运算内接于该外接四角形的内接圆之后辨识上述一方的标记,并且藉由该一方的标记的境界线来予以分离,而使形成于该一方的标记的内侧之另一方的标记的分离形状的重心位置与上述一方的标记的重心位置整合,接着辨识上述一方的标记及另一方的标记,然后根据由上述两标记的重心位置所运算后的位置偏移量来整合上述两标记。8.一种工件及光罩之整合机构,包括:摄影装置,用以摄取具有图形的光罩之整合用的光罩标记及工件之工件标记;控制机构,用以辨识该摄影装置所摄取之上述两标记的位置,然后进行运算记忆及控制;及移动机构,用以根据该控制机构的控制信号来整合上述两标记的位置偏移;其特征在于:上述摄影装置是经由移动机构来设置于用以支撑上述光罩或工件的支撑基底侧。9.一种工件及光罩之整合机构,包括:摄影装置,用以摄取具有图形的光罩之整合用的光罩标记及工件之工件标记;控制机构,用以辨识该摄影装置所摄取之上述两标记的位置,然后进行运算记忆及控制;及移动机构,用以根据该控制机构的控制信号来整合上述两标记的位置偏移;其特征在于:上述摄影装置是经由移动机构来设置于支撑基底侧之光罩支撑筐体。10.如申请专利范围第8项之工件及光罩之整合机构,其中上述移动机构在使上述摄影装置移动时,是以整合藉该摄影装置进行摄影时的透镜系统的中心焦点与上述光罩标记或工件标记内配置于一方的标记内侧之另一方的标记的重心位置之位置来作为该移动机构的移动基准位置。11.如申请专利范围第8项之工件及光罩之整合机构,其中上述移动机构在使上述摄影装置移动时,是以整合藉该摄影装置进行摄影时的透镜系统的中心焦点与上述光罩标记的重心位置之位置来作为该移动机构的移动基准位置。12.如申请专利范围第9项之工件及光罩之整合机构,其中上述移动机构在使上述摄影装置移动时,是以整合藉该摄影装置进行摄影时的透镜系统的中心焦点与上述光罩标记的重心位置之位置来作为该移动机构的移动基准位置。图式简单说明:第一图之(a)是表示本发明之整合机构的全体原理图,(b)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图,(c)是表示整合光罩标记与工件标记的状态之平面图,(d)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图,(e)是表示整合光罩标记与工件标记的状态之平面图。第二图之(a)是表示其他发明之整合机构的全体原理图,(b)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图,(c)是表示整合光罩标记与工件标记的状态之平面图,(d)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图,(e)是表示整合光罩标记与工件标记的状态之平面图。第三图是表示本发明之整合方法的作业过程之方块图。第四图是表示本发明之整合机构的配置位置之曝光装置的原理图。第五图之(a)是表示摄取本发明其他形状之光罩标记与工件标记后的状态之平面图,(b)是表示摄取其他形状之光罩标记与工件标记后的状态之平面图。第六图之(a)是表示本发明之整合机构的全体原理图,(b)是表示由工件标记内可辨识部份的形状来运算外接于光罩标记之外接四角形的状态之平面图,(c)是表示运算内接于外接四角形的内接圆之重心位置与半径的状态之平面图。第七图之(a)是表示以内接圆作为工件标记而辨识后的状态之平面图,(b)是表示根据工件标记之境界线而分离光罩标记的状态之平面图,(c)是表示进行工件标记的重心位置与分离后之光罩标记的分离形状的重心位置之整合作业的状态之平面图,(d)是表示进行工件标记与光罩标记之整合作业的状态之平面图。第八图是表示本发明之整合方法的作业过程之方块图。第九图(a),(b)是表示根据摄影装置所摄取之本发明其他形状的光罩标记与工件标记的状态之平面图。第十图是表示整合机构的要部平面图。第十一图是表示整合机构的要部剖面图。第十二图之(a)是表示整合机构的全体原理图,(b)(c)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图。第十三图之(a)是以剖面来表示整合机构之摄影装置的要部原理图,(b)是表示根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图。第十四图之(a)是表示习知之整合机构的全体原理图,(b)是表示习知根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图,(c)是表示习知整合光罩标记与工件标记后的状态之平面图,(d)是表示习知根据摄影装置所摄取之光罩标记与工件标记的状态之平面图。 |
