| 主权项 |
1.一种燃烧器歧管装置,其传送反应剂至化学汽相沉积处理之燃烧位置,该装置包含:流体入口,流体出口,以及一组多个流体通道延伸于流体入口与流体出口之间,流体通道由流体进入口至流体出口朝向彼此地聚集。2.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中在流体出口处流体通道具有较小断面而小于流体入口处。3.依据申请专利范围第1硕之燃烧器歧管装置,其中在流体通道彼此隔离使得所选择一个流体通道传送反应剂前身产物材料以及选择不同之流体通道传送燃烧材料。4.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中在流体出口处之流体通道为细缝形状。5.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中更进一步包含至少一个产生限制压力装置使传送流体以狭窄拉伸流束之通过,至少一个产生限制压力装置位于流体入口与流体出口之间。6.依据申请专利范围第5项之燃烧器歧管装置,其中至少一个产生限制压力装置包含一个板,其具有一组细缝或线性构造开孔在其中以使由该处流出之流体为一般线性流束。7.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管装置包含:歧管底座,其具有顶部,底部,前端壁板,后端壁板,以及两个侧板,流体通道包含水平流体通道,其延伸于侧边壁板以及由一个位置延伸出之垂直流通道,该位置在到达歧管底座顶部之歧管内,以及流体入口,其包含流体入口端埠,每一端埠位于至少一个前端壁板上以及歧管底座后端壁板上以及每一入口与至少一个水平及垂直流体通道相互流通;装置于歧管底座上之平板,该平板界定出一组多个通过其中平板,至少一个孔径位于每一歧管底座垂直流体通道出口上方以使流体由垂直流体通道通过平板;以及歧管燃烧器支架连接至平板,流体通道更进一步包含歧管燃烧器架,其由歧管燃烧器架底部延伸至歧管燃烧器架顶部以及终止处为流体出口,歧管燃烧器架流体通道排列使得相邻歧管燃烧器架流体通道间距离在歧管燃烧器架底部为较大而大于歧管燃烧器架顶部情况,歧管燃烧器架流体通道对称地排列于中央位于歧管燃烧器架顶部处。8.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中垂直流体通道对称于第一中心轴而倾斜于歧管底座。9.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中垂直流体通道并不对称于第一中心轴而倾斜于歧管底座。10.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中垂直流体通道包含中央垂直通道以及成对垂直通道,每一对通道由两个垂直通道所界定出而与第一中心轴等距地相隔,每一对通道相交出特别水平流体通道以形成一个阵列于歧管底座内以对称于第一中心轴分散流体。11.依据申请专利范围第10项之燃烧器歧管装置,其中每一对垂直通道以及特别水平流体通道与其他每一对垂直通道以及特别水平流体通道为彼此相互独立的。12.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中每一水平流体通道合并为单一流体输入端埠。13.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中歧管燃烧器支架流体通道为线性的。14.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中歧管底座之顶部包含沟槽,每一沟槽位于一个垂直流体通道出口处。15.依据申请专利范围第14项之燃烧器歧管装置,其中在歧管底座中垂直流体通道出口以及歧管底座顶部中相对沟槽对准于到达歧管燃烧器支架流体通道之线性出口。16.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中平板具有一个线性阵列开孔,以及线性阵列之线对准于歧管底座中垂直流体通道之出口以及歧管燃烧器支架流体通道之线性入口。17.依据申请专利范围第16项之燃烧器歧管装置,其中平板孔径尺寸为较小而小于垂直流体通道之出口,其将使得平板运作为压力板以均匀对称地分配流体通过歧管底座。18.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,以及更进一步包含装置于歧管燃烧器架之固定元件以固定燃烧器。19.依据申请专利范围第18项之燃烧器歧管装置,其中固定元件包含一对可释出之夹头而固定于歧管燃烧器架顶部每一侧上以固定燃烧器于歧管燃烧器支架流体通道上。20.依据申请专利范围第19项之燃烧器歧管装置,其中每一夹头具有外侧边缘以及内侧边缘,内侧边缘具有肩部,其与燃烧器衔接以装置于歧管燃烧器支架。21.依据申请专利范围第20项之燃烧器歧管装置,其中每一夹头内侧边缘具有渐变表面,其由歧管燃烧器架顶部开始渐变。22.依据申请专利范围第19项之燃烧器歧管装置,更进一步包含弹簧装置于每一夹头以及歧管燃烧器架之间。23.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中歧管底座,平板,以及歧管燃烧器架一般为长方形。24.依据申请专利范围第23项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管装置包含一组多个燃烧器架,一组多个平板,以及单一歧管,单一歧管在前端壁板与后端壁板间具有一个厚度,单一歧管厚度大于燃烧器架厚度以及平板将使得一组多个燃烧器架/平板组合件可装置至歧管。25.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中流体入口端埠位于歧管前端壁板上。26.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中流体入口端埠位于歧管后端壁板上。27.依据申请专利范围第7项之燃烧器歧管装置,其中第一组流体入口端埠位于歧管后端壁板上,以及第二组流体入口端埠位于歧管后端壁板上。28.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中更进一步包含:一组多个歧管元件放置成堆叠构造使得流体通道延伸通过歧管元件以及终止于流体出口处,歧管元件流体地藉由流体通道彼此连通,每一歧管元件具有较大数目流体通道而大于堆叠下方歧管元件使得最顶部歧管元件具有较大数目通过其中之流体通道以及使得流体通道会集于流体出口处。29.依据申请专利范围第28项之燃烧器歧管装置,其中每一歧管元件包含至少一个流体入口端埠。30.依据申请专利范围第29项之燃烧器歧管装置,其中最下方歧管元件具有单一流体入口端埠以及其余歧管元件具有两个流体入口端埠。31.依据申请专利范围第30项之燃烧器歧管装置,其中在其余歧管元件中,流体平均地分配于两个流体入口端埠。32.依据申请专利范围第29项之燃烧器歧管装置,其中流体通道为线性以及垂直地延伸通过歧管元件。33.依据申请专利范围第32项之燃烧器歧管装置,其中每一歧管元件最外侧流体通道与结合流体输入端埠流通,以及内侧流体通道与最外侧流体通道隔离。34.依据申请专利范围第33项之燃烧器歧管装置,其中每相邻歧管元件流体通道为垂直对准。35.依据申请专利范围第33项之燃烧器歧管装置,其中内侧流体通道为垂直长方形细缝。36.依据申请专利范围第29项之燃烧器歧管装置,其中流体通道对称于中央流体通道。37.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中更进一步包含:渐变区段具有第一端部界定出流体出口以及第二端部界定出流体入口,第一端部具有较小表面区域而小于第二端部。38.依据申请专利范围第37项之燃烧器歧管装置,其中选择一个流体通道被封闭以防止流体通过其中。39.依据申请专利范围第1项之燃烧器歧管装置,其中更进一步包含:渐变区段,其具有第一端部界定出流体入口以及第二端部,第一端部具有较大表面而大于第二端部;以及顶部区段,其具有第一端部与渐变区段之第二端部流体地连通以及第二端部界定出流体出口,其中流体通道延伸通过渐变区段以及顶部区段以传送流体由渐变区段之第一端部至顶部区段之第二端部。40.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中顶部区段与渐变区段有相同范围。41.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管藉由挤制处理过程形成。42.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管藉由抽拉处理过程形成。43.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中选择一个流体通道被封闭。44.依据申请专利范围第43项之燃烧器歧管装置,其中选择一个通道填允固体材料。45.依据申请专利范围第43项之燃烧器歧管装置,其中固体材料为环氧树脂以及矽氧化物之一种。46.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管由玻璃材料所构成。47.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管装置由陶瓷材料所构成。48.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中燃烧器歧管装置由矽石材料所构成。49.依据申请专利范围第39项之燃烧器歧管装置,其中顶部区段为圆柱形。50.一种制造燃烧器歧管之方法,该燃烧器歧管使用于化学汽相沉积处理过程中,该方法包含:挤制蜂巢体基质之塑胶复合体至少部份通过具有渐变区段之挤制模使得歧管第一端部具有较小表面积而小于歧管第二端部。51.依据申请专利范围第50项制造燃烧器歧管之方法,其中更进一步包含:在挤制步骤前,利用填充材料填充蜂巢体基质。52.依据申请专利范围第50项制造燃烧器歧管之方法,其中更进一步包含:在挤制步骤后,将填充材料由蜂巢体基质移除材料,将蜂巢体基质烧结;以及利用另外一种填充材料封闭蜂巢体基质经选择之通道。53.依据申请专利范围第52项制造燃烧器歧管之方法,其中更进一步包含:在挤制步骤后,将燃烧器密封至歧管之第一端部。54.一种燃烧器歧管组件装置,该组件使用于化学汽相沉积处理过程中,该装置包含:歧管,其具有流体通道通过其中以及一组多个流体入口端埠;一组多个燃烧器架装置于歧管及具有流体通道与歧管流体通道连通,每一燃烧器架具有线性阵列细缝位于其顶部以由其中喷出流体,燃烧器架细缝与相邻燃烧器架对准;及一组多个流体限制装置放置于歧管与每一燃烧器架间。55.依据申请专利范围第54项之装置,其中一组多个流体限制装置包含一组多个压力板,其具有开孔通过其中,开孔对准于歧管流体通道以及燃烧器架流体以由歧管喷出流体进入燃烧器支架。56.一种燃烧器歧管组件,该组件传输反应剂至化学汽相沉积处理过程之燃烧位置,该组件包含:燃烧器歧管装置,流体入口,流体出口,以及一组多个流体通道延伸于流体入口与流体出口之间,流体通道由流体进入口至流体出口朝向彼此地聚集;以及燃烧器装置至燃烧器歧管装置,燃烧器具有线性阵列至少一个细缝以及开孔,线性阵列与流体通道连通于流体出口处。图式简单说明:第一图(第一图)为本发明使用于微细机器加工晶片之燃烧器歧管装置分解透视图。第二图(第二图)为燃烧器歧管装置以及微细机器加工燃烧器晶片之部份断面侧视图。第三图(第三图)为燃烧器歧管装置顶部平面图,其中燃烧器装置于其中。第四图(第四图)为依据本发明燃烧器歧管装置之燃烧器歧管平面图。第五图(第五图)为沿着第四图断面线B-B展开之燃烧器歧管断面侧视图。第六图(第六图)为本发明燃烧器歧管装置压力板顶部平面图。第七图(第七图)为本发明燃烧器歧管装置第二实施例展开透视图。第八图(第八图)为显示于第七图中燃烧器歧管装置之组件断面侧边示意图,其具有流体配件。第九图(第九图)为显示出第七图燃烧器歧管装置顶视层。第十图(第十图)为本发明燃烧器歧管第三实施例侧视图。第十一图(第十一图)为显示于第十图燃烧器歧管底部平面层。第十二图(第十二图A)及第十二图乙(第十二图B)为显示于第十图第三实施例另外一种设计之顶部平面层。第十三图(第十三图)为本发明燃烧器歧管装置第四实施例展开透视图。 |
