发明名称 外周刀刃、内周刀刃、取心钻及使用这些之加工装置
摘要 一种外周刀刃,其特征为:具有圆盘状的金属基板,及设于该金属基板之外周部且固装磨粒的刀片部分;在该金属基板之侧面且该刀片部分之内侧设置固装磨粒所形成的磨粒层,同时将该刀片部分之前端面形状作为突部形状。一种内周刀刃,其特征为:具有穿设中空部的圆盘状中空基板,及设于该中空基板之内周部且固装磨粒的刀片部分;在该中空基板之侧面设置固装磨粒所形成的磨粒层。一种取心钻,其特征为:具有钻柄,及设于该钻柄之前端之圆盘状上壁与圆筒状侧壁所形成之杯型盘心刀片部,及装设于该盘心刀片部之前端部分且固装磨粒的磨轮部;藉由一面旋转该磨轮部一面抵接于被加工物,圆状地研削该被加工物而可开设孔的取心钻,在该盘状刀片部之圆筒状侧壁的内周面及外周面设置固装磨粒所形成的磨粒层。一种取心钻加工装置,其特征为具备:(a)被加工物所载置的工作台,及位于该工件台之上方之位置,接离自如且旋转自如地设于该工件台的旋转轴所构成的取心钻加工装置本体,及(b)安装于该旋转轴之上述之取心钻。
申请公布号 TW418445 申请公布日期 2001.01.11
申请号 TW088114568 申请日期 1999.08.25
申请人 阿杜克股份有限公司;信越石英股份有限公司;山形信越石英股份有限公司 发明人 水野彻;服部彧雄;须釜明彦;松谷利胜;伊势吉明
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种外周刀刃,其特征为:具有圆盘状的金属基板,及设于该金属基板之外周部且固装砥粒的刀片部分;在该金属基板之侧面且该刀片部分之内侧设置固装砥粒所形成的砥粒层,同时将该刀片部分之前端面形状作为突部形状。2.如申请专利范围第1项所述之外周刀刃,其中,上述磨粒层之侧面高度比刀片部分之侧面高度小。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,其中,构成上述磨粒层之磨粒比构成上述刀片部分之磨粒细小之磨粒。4.如申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,其中,上述磨粒层局部地设于上述金属基板之侧面。5.如申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,其中,构成上述刀片部分之磨粒为金刚石磨粒及/或CBN磨粒。6.如申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,其中,构成上述磨粒层之磨粒为金刚石磨粒及/或其他磨粒所成。7.如申请专利范围第6项所述之外周刀刃,上述其他磨粒为SiC,Al2O3,ZrO2,Si3N4,CBN及/或BN。8.如申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,其中,将上述刀片部分之前端面的突部形状之前端角度设定在45至120。9.一种外周刀刃切断加工装置,其特征为具有:申请专利范围第1项或第2项所述之外周刀刃,及高速旋转该外周刀刃的旋转驱动部。10.一种内周刀刃,其特征为:具有穿设中空部的圆盘状中空基板,及设于该中空基板之内周部且固装砥粒的刀片部分;在该中空基板之侧面设置固装砥粒所形成的砥粒层。11.如申请专利范围第10项所述之内周刀刃,其中,上述磨粒层之侧面高度比刀片部分之侧面高度小。12.如申请专利范围10项或第11项所述之内周刀刃,其中,构成上述磨粒层之磨粒比构成上述刀片部分之磨粒细小之磨粒。13.如申请专利范围10项或第11项所述之内周刀刃,其中,上述磨粒层局部地设于上述中空基板之侧面。14.如申请专利范围10项或第11项所述之内周刀刃,其中,构成上述刀片部分之磨粒为金刚石磨粒及/或CBN磨粒。15.如申请专利范围10项或第11项所述之内周刀刃,其中,构成上述磨粒层之磨粒为金刚石磨粒及/或其他磨粒所成。16.如申请专利范围第15项所述之内周刀刃,上述其他磨粒为Sic,Al2O3,ZrO2,Si3N4,CBN及/或BN。17.如申请专利范围第10项或第11项所述之内周刀刃,其中,上述刀片部分之前端面形状成第突部形状。18.如申请专利范围第17项所述之内周刀刃,其中,将上述刀片部分之前端面的突部形状之前端角度设定在45至120。19.一种内周刀刃切断加工装置,其特征为具有:申请专利范围第10项或第11项所述之内周刀刃,及高速旋转该内周刀刃的旋转驱动部。20.一种取心钻,其特征为:具有钻柄,及设于该钻柄之前端之圆盘状上壁与圆筒状侧壁所形成之杯型的盘心刀片部,及装设于该盘心刀片部之前端部分且固装磨粒的磨轮部;藉由一面旋转该磨轮部一面抵接于被加工物,圆状地研削该被加工物而可开设孔的取心钻,在该盘心刀片部之圆筒状侧壁的内周面及外周面设置固装磨粒所形成的磨粒层。21.如申请专利范围第20项所述之取心钻,其中,构成上述磨粒层之磨粒比构成上述磨轮层之磨粒细小之磨粒。22.如申请专利范围第20项或第21项所述之取心钻,其中,螺旋状地设置上述磨粒层。23.如申请专利范围第20项或第21项所述之取心钻,其中,上述磨轮部之前端面形状成为突部形状。24.如申请专利范围第23项所述之取心钻,其中,将上述磨轮部之前端面的突部形状之前端角度设定在45至120。25.一种取心钻加工装置,其特征为具备:(a)被加工物所载置的工件台,及位于该工件台之上方之位置,接离自如且旋转自如地设于该工件台的旋转轴所构成的取心钻加工装置本体,及(b)安装于该旋转轴之申请专利范围第20项或第21项之取心钻。26.一种取心钻加工装置,其待徵为具备:(a)架台,及设于该架台之上面中央部且被加工物所载置的工件台,及设于该架台之周边部的支架,及经由该支架上下移动自如且旋转自如地设置的旋转轴所构成的取心钻加工装置本体,及(b)安装于该旋转轴之申请专利范围第20项或第21项之取心钻。图式简单说明:第一图系表示本发明之外周刀刃之一实施形态:(a)系本发明之外周刀刃的正面图,(b)系(a)之A-A线剖面图及(c)系刀片部分之侧面说明图。第二图系表示装设本发明之外周刀刃的切断加工装置之局部剖同说明图:(a)系表示切断被切断物前之状态的图式,(b)系表示正切断被切断物之状态的图式。第三图系表示依本发明之外周刀刃之被切断物之切断中之状态的局部剖面说明图:(a)系表示被切断物所受之应力之状态的图式,(b)系表示被切断物接触于外周刀刃之金属基板之两侧面并以磨粒层被研削之状态的图式。第四图系表示依本发明之外周刀刃之被切断物之切断中之状态的局部剖面说明图:(a)系表示切断阻力小之状态的图式,(b)系表示外周刀刃不会翘曲,在切断面不会发生翘曲,又不会产生外周刀刃之游隙现象之状态的图式,(c)系表示在终了切断后之被切断物之切断面不会发生毛边之状态的图式。第五图系表示本发明之内周刀刃之第一实施形态:(a)系本发明之内周刀刃的正面图及(b)系(a)之A-A线剖面图。第六图系表示具备本发明之内周刀刃之切断加工装置之一例子的侧面概略说明图。第七图系表示本发明的内周刀刃之切断加工装置的局部剖面说明图:(a)系表示切断被切断物之状态的图式,(b)系表示终了被切断物之切断之状态的图式,(c)系表示终了切断后之内周刀刃之一部分之状态的图式。第八图系表示本发明之内周刀刃之第二实施形态;(a)系表示本发明之内周刀刃的正面图,及(b)系表示(a)之A-A线剖面图。第九图系表示本发明之内周刀刃之第三实施形态:(a)系表示本发明之内周刀刃的正面图,及(b)系表示(a)之A-A线剖面图。第十图系表示本发明之内周刀刃之第四实施形态的正面图。第十一图系表示本发明之内周刀刃之第五实施形态的正面图。第十二图系表示本发明之内周刀刃之第六实施形态的正面图。第十三图系表示本发明之取心钻之一实施形态:(a)系表示正面图,(b)系表示纵剖面图,(c)系表示底面图,(d)系表示磨轮部之局部放大图。第十四图系表示藉由本发明之取心钻在被加工物开孔并施以研削加工之状态的部面说明图。第十五图系表示从第十四图之状态之进行研削加工而刚要终了研削加工前之状态的剖面说明图。第十六图系表示本发明之取心钻加工装置的正面图。第十七图系表示本发明之取心钻加工装置的侧面图。第十八图系表示以往之外周刀刃之一例子;(a)系表示以往之外周刀刃的正面图,(b)系表示(a)之B-B线剖面图,(c)系表示刀片部分的说明图。第十九图系表示装设以往之外周刀刃之切断加工装置的局部剖面说明图:(a)系表示切断被切断物之前之状态的图式,(b)系表示正切断被切断物之状态的图式。第二十图系表示依以往的外周刀刃之被切断物之切断中之状态的局部部面说明图;(a)系表示被切断物所受之应力状态的图式,(b)系表示被切断物接触于外周刀刃之金属基板之两侧面之状态的图式。第二十一图系表示依以往的外周刀刃之被切断物之切断中之状态的局部剖面放大说明图:(a)系表示切断阻力大之状态的图式,(b)系表示外周刀刃翘曲,在切断面发生翘曲之状态的图式,(c)系表示被切断物之终了切断时之状态的图式,(d)系表示毛边发生在终了切断后之被切断物之切断面之状态的图式。第二十二图系表示实施例1~3及比较例1之切断中的外周刀刃旋转用电动机之电流値变化的图表。第二十三图系表示实施例4~6之切断中的外周刀刃旋转用电动机之电流値变化的图表。第二十四图系表示实施例10~12及比较例2之切断中的CBN刀刃旋转用电动机之电流値变化的图表。第二十五图系表示实施例13~15之切断中的CBN刀刃旋转用电动机之电流値变化的图表。第二十六图系表示以往之内周刀刃的一例子,(a)系表示以往之内周刀刃的正面图及(b)系表示(a)之B-B线剖面图。第二十七图系表示具备以往之内周刀刃之切断加工装置之一例子的侧面概略说明图。第二十八图系表示装设以往之内周刀刃之切断加工装置的局部剖面说明图;(a)系表示切断被切断物之状态的图式,(b)系表示终了被切断物之切断之状态的图式,(c)系表示终了切断后之内周刀刃之一部分之状态的图式。第二十九图系表示以往之取心钻之一例子;(a)系表示正面图,(b)系表示纵剖面图,(c)系表示底面图。第三十图系表示藉由以往之取心钻在被加工物开孔并施以研削加工之状态的剖面说明图。第三十一图系表示从第三十图之状态又进行研削加工而刚要终了研削加工前之状态的剖面说明图。
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