| 主权项 |
1.一种液体输送系统,其特征在于:-一含欲输送之液体的供应容器(3A,3B),其设有用于维持顶部于小于第一预定压力P1之过压下的机构(4);-一中间体储存槽(11),其设有用于维持顶部于预定的中间压力P2>P1的机构(20);-一种用于自供应容器传送液体至中间储子槽之机构(5至8);-至少两个具有比中间储存槽之体积更小的输送容器(12A,12B),该等容器以并联方式连接于中间储存槽之液体出口(13)的上游及一用于输送液体至使用者网路(100)之管线(14)的下游;且-一种用于分别施加输送压力P3>P2或填充压力P4>P2至每个容器的控制机构(21A,21B)。2.根据申请专利范围第1项之液体输送系统,其特征在于包括三个以并联方式连接之输送容器。3.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于传送机构及/或输送管线系设有用于过滤液体之机构(7,8,15A,15B)。4.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于该维持机构(4,20)及该控制机构(21A,21B)包括钝气来源,尤其是氮气,该等来源系设有压力调节机构。5.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于包括一用于自输送管线(14)循环液体到储存槽之入口(11)的管线(17)。6.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于包括一用于自使用者网路(100)循环液体至储存槽(11)之入口的管线(18)。7.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于每个输送容器(12A,12B)是由垂直管之部份所组成,其于下端藉一供应及排放T型管(26)及于上端藉一设有加压气体之入口的塞子(24)以关闭。8.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于压力P1系大约等于100mb及/或压力P2是大约100至500mb之间及/或压力P3是大约500mb至6bar之间。9.根据申请专利范围第1或2项之液体输送系统,其特征在于储存槽(11)的容积及每个输送容器(12A,12B)之容积系分别为200L至5m3之间与1L至50L之间。10.根据申请专利范围第1项之液体输送系统,其系用于超纯液体之输送。11.根据申请专利范围第10项之液体输送系统,其中该超纯液体为过氧化氢、含水氨或氯化氢。图式简单说明:第一图系概要显示根据本发明之超纯液体输送系统;及第二图显示于第一图中之系统的部份较佳具体实施例。 |
