发明名称 加热器总成之夹具
摘要 一种加热器总成之夹具,其包括由陶瓷所制做的焊垫、顶盖、以及镶嵌盘并且系一体形成或各别形成。焊垫具有与晶片边角部位接触的接触表面,并且将握住晶片。顶盖由外面封闭与其边角接触的晶片之正面。镶嵌盘由外面封闭晶片的侧面。由于此夹具系使用陶瓷的特性,因此制止夹具所产生的晶片破坏。在焊垫上产生狭槽以降低加热晶片时所需的最大热消耗。
申请公布号 TW418485 申请公布日期 2001.01.11
申请号 TW088105750 申请日期 1999.04.12
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 崔海文;金晟泰;高鋧国;金大文
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种加热器总成之夹具,其包括:一陶瓷焊垫,具有与该晶片的一边角部位接触的一接触表面,并且握住该晶片;一顶盖,系由陶瓷所制做并且由外面封闭与该加热器接触的该晶片之一正面;以及一镶嵌盘,系由陶瓷所制做并且由外面封闭与该加热器接触的该晶片之一侧面。2.如申请专利范围第1项的夹具,其中该顶盖、该焊垫、以及该镶嵌盘系一体形成。3.如申请专利范围第1项的夹具,其中研磨该顶盖以及该焊垫的一表面以增进热能反射性,该表面系在该晶片的正面。4.如申请专利范围第1项的夹具,其中该焊垫的该接触表面与不和该晶片接触的一面至少呈0.5度。5.如申请专利范围第1.2项、或3项的夹具,其中在该焊垫的该接触表面外产生一狭槽,以降低该晶片对外的散热。图式简单说明:第一图是根据本发明所绘示使用夹具的加热器总成之方块图;第二图是根据本发明所绘示的夹具之前视图;第三图是沿着第二图的线3-3所绘示的截面视图;第四图是第三图的部位4之放大视图;第五图根据本发明所绘示夹具使用状态的视图;以及第六图是绘示习知夹具的分解透视图。
地址 韩国