发明名称 漂浮搬运装置用之气体喷出构造及喷出孔形成方法
摘要 〔课题〕提供使得可在移送单元或控制单元之基座使用之搬运板简单的设置喷出孔之漂浮搬运装置用之气体喷出构造及喷出孔形成方法。〔解决手段〕一种漂浮搬运装置用之气体喷出构造,系关于具有以自搬运面21喷出之气体令板状基体浮起之搬运板和该搬运板具备并供给自该搬运面21喷出之气体之供给系之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,设置了在喷出气体之位置开设在搬运面21并自供给系接受气体供给之承孔l、及系和承孔l嵌合之形状而插入承孔l并开设了喷出供给承孔l之气体之喷出孔之卡合体。
申请公布号 TW418427 申请公布日期 2001.01.11
申请号 TW088114818 申请日期 1999.08.30
申请人 渡边商行股份有限公司;华哥姆电创股份有限公司 发明人 村正之;谷贝道雄;都田昌之;楠原昌树
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种漂浮搬运装置用之气体喷出构造,具有以自搬运面喷出之气体令板状基体浮起之搬运板和该搬运板所具备并供给自该搬运面喷出之气体之供给系,其特征在于包括:承孔,在喷出该气体之位置开设在该搬运面并自该供给系接受气体供给;以及卡合体,系和该承孔嵌合之形状,插入该承孔并开设喷出供给该承孔之气体之喷出孔。2.如申请专利范围第1项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中该搬运板具有表面系搬运面之加工板和封住该加工板之背面之密封板,在该加工板如贯穿该板般分别开设该承孔,对于将该卡合体分别插入了该承孔之加工板,设置连结方向相同之喷出孔之通气槽部,将该通气槽部设为该供给系。3.如申请专利范围第1项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该承孔及该卡合体设置用以决定对于该承孔之卡合体之喷出孔之方向之导引部。4.如申请专利范围第2项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该承孔及该卡合体设置用以决定对于该承孔之卡合体之喷出孔之方向之导引部。5.如申请专利范围第3项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该导引部上,在该承孔之侧壁设置导引用槽部,在该卡合体之侧壁设置和该导引用槽部嵌合之形状之导引用突出部。6.如申请专利范围第4项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该导引部上,在该承孔之侧壁设置导引用槽部,在该卡合体之侧壁设置和该导引用槽部嵌合之形状之导引用突出部。7.如申请专利范围第1.2.3.4.5或8项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该承孔及该卡合体设置用以将插入承孔之该卡合体卡止之卡止部。8.如申请专利范围第7项之漂浮搬运装置用之气体喷出构造,其中在该卡止部上,在该承孔之侧壁设置第一段差部,在该卡合体设置和该第一段差部嵌合之第二段差部。9.一种漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,该漂浮搬运装置具有以自搬运面喷出之气体令板状基体浮起之搬运板和该搬运板具备并供给自该搬运面喷出之气体之供给系,其特征在于包括:在自该搬运面至该供给系之间而且在喷出该气体之位置在该搬运面开设承孔;以及将开设喷出气体之喷出孔而且具有和该承孔嵌合之形状之卡合体插入该搬运面之该承孔。10.如申请专利范围第9项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中:用表面系搬运面之加工板和封住该加工板之背面之密封板形成该搬运板;如贯穿该加工板般分别开设承孔;在该承孔分别插入卡合体;如该喷出孔之方向连结该卡合体般在加工板之背面设置通气槽部;以及用该密封板封住该背面并将该通气槽部设为供给系。11.如申请专利范围第9项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该承孔及该卡合体设置用以决定对于该承孔之卡合体之喷出孔之方向之导引部。12.如申请专利范围第10项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该承孔及该卡合体设置用以决定对于该承孔之卡合体之喷出孔之方向之导引部。13.如申请专利范围第11项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该导引部上,在该承孔之侧壁设置导引用槽部,在该卡合体之侧壁设置和该导引用槽部嵌合之形状之导引用突出部。14.如申请专利范围第12项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该导引部上,在该承孔之侧壁设置导引用槽部,在该卡合体之侧壁设置和该导引用槽部嵌合之形状之导引用突出部。15.如申请专利范围第9.10.11.12.13或14项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该承孔及该卡合体设置用以将插入承孔之该卡合体卡止之卡止部。16.如申请专利范围第15项之漂浮搬运装置用之喷出孔形成方法,其中在该卡止部上,在该承孔之侧壁设置第一段差部,在该卡合体设置和该第一段差部嵌合之第二段差部。图式简单说明:第一图系表示实施例1之漂浮搬运装置用之气体喷出构造之平面图。第二图系表示第一图之部分放大之放大图。第三图系表示在搬运面所设定加工位置之平面图。第四图系表示第二图之Ⅰ-Ⅰ剖面之剖面图。第五图系表示第一图之Ⅱ-Ⅱ剖面之剖面图。第六图系表示用以制作卡合体之条块之正视图。第七图系表示对于卡合体形成喷出孔之状况之剖面图。第八图系表示卡合体之安装状况之剖面图。第九图系表示搬运板之剖面图。第十图系表示实施例2之漂浮搬运装置用之气体喷出构造之放大图。第十一图系表示第十图之Ⅲ-Ⅲ剖面之剖面图。第十二图系表示实施例3之加工板之平面图。第十三图系表示实施例3之卡合体之平面图。第十四图系表示实施例4之漂浮搬运装置用之气体喷出构造之平面图。第十五图系表示实施例5之漂浮搬运装置用之气体喷出构造之剖面图。第十六图系表示实施例6之漂浮搬运装置用之气体喷出构造之剖面图。第十七图系表示习知之板状基体搬运系统之平面图。第十八图系表示习知之移送单元之立体图。第十九图系表示第十八图之Ⅳ-Ⅳ剖面图。第二十图系表示第十八图之Ⅴ-Ⅴ剖面图。第二十一图系表示习知之移送单元之喷出方向之说明图。第二十二图系表示习知之控制单元之立体图。第二十三图系表示习知之移送单元之喷出方向之说明图。第二十四图系表示习知之移送单元之构造之剖面图。第二十五图系表示对于习知之移送单元之加工板加工之状况之剖面图。第二十六图系表示对于习知之移送单元之加工板加工之状况之剖面图。第二十七图表示习知之移送单元之加工板之底面之下视图。
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