发明名称 漂浮搬运装置及漂浮搬运系统
摘要 〔课题〕本发明提供一种漂浮搬运装置及漂浮搬运系统,藉着对板状基体喷出气体而将板状基体设为浮起之状态后,在该状态令板状基体移动、停止、静止及转换方向之情况,即使重的板状基体,也可高速的进行移动及方向转换,而且可令板状基体确实停止。〔解决手段〕在由具备设于搬运面之复数喷出孔llB并利用自喷出孔llB喷出之气体在令板状基体浮起之状态令移动之移送部l、及具备设于搬运面之复数喷出孔并利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态进行移动、停止、静止及转换方向之至少一种之控制单元组合而成之漂浮搬运系统,在移送部l设置推浮起之板状基体并令移动之移动装置(移动装置13)。
申请公布号 TW418426 申请公布日期 2001.01.11
申请号 TW088114817 申请日期 1999.08.30
申请人 渡边商行股份有限公司;华哥姆电创股份有限公司 发明人 村正之;谷贝道雄;都田昌之;楠原昌树
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种漂浮搬运装置,具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动,其特征在于:设置推浮起之板状基体并令移动之移动装置。2.一种漂浮搬运装置,具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动,其特征在于:设置令浮起之板状基体移动之移动装置;在该移动装置设置成碰到该板状基体之两侧面之复数辊和为了令该板状基体移动而驱动该各辊转动之驱动装置。3.一种漂浮搬运装置,具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动,其特征在于:设置令浮起之板状基体之移动装置;在该移动装置设置成碰到该板状基体之两侧面至少一组之皮带和为了令该板状基体移动而驱动该各皮带之驱动装置。4.如申请专利范围第1.2或3项之漂浮搬运装置,其中将该喷出孔喷出气体之方向设成相对于该搬运面大致垂直。5.一种漂浮搬运系统,由具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动之移送部、及具备在搬运所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下进行移动、停止、静止及方向转换之至少一种之控制单元组合而成,其特征在于:在该移送部设置推浮起之板状基体并令移动之移动装置。6.一种漂浮搬运系统,由具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动之移送部、及具备在搬运所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下进行移动、停止、静止及方向转换之至少一种之控制单元组合而成,其特征在于:在该移送部设置令浮起之板状基体移动之移动装置;在该移动装置设置成碰到该板状基体之两侧面之复数辊和为了令该板状基体移动而驱动该各辊转动之驱动装置。7.一种漂浮搬运系统,由具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动之移送部、及具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下进行移动、停止、静止及方向转换之至少一种之控制单元组合而成,其特征在于:在该移送部设置令浮起之板状基体移动之移动装置;在该移动装置设置设置成碰到该板状基体之两侧面之至少一组之皮带和为了令该板状基体移动而驱动该各皮带之驱动装置。8.如申请专利范围第5.6或7项之漂浮搬运系统,其中将该喷出孔喷出气体之方向设成相对于该移送部之该搬运面大致垂直。9.一种漂浮搬运系统,由具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动之移送部、及具备在搬运所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下进行移动、停止、静止及方向转换之至少一种之控制单元组合而成,其特征在于:在该控制单元设置设于该控制单元之该搬运面下而且为了移动或转动之板状基体之停止或定位将至少一个棒状物向该搬运面上推出之第1控制装置及利用该第1控制装置推静止之该板状基体后进行板状基体之转动或移动之第2控制装置。10.一种漂浮搬运系统,由具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下令移动之移送部、及具备在搬运面所设置之复数喷出孔并在利用自该喷出孔喷出之气体在令板状基体浮起之状态下进行移动、停止、静止及方向转换之至少一种之控制单元组合而成,其特征在于:在该控制单元设置设于该控制单元之该搬运面下而且为了移动或转动之板状基体之停止或定位将至少一个棒状物向该搬运面上推出之第1控制装置及利用该第1控制装置夹静止之该板状基体后进行板状基体之转动或移动之第2控制装置。11.如申请专利范围第9或10项之漂浮搬运系统,其中将该控制单元之喷出孔喷出气体之喷出方向设成相对于该移送部之该搬运面大致垂直。12.一种漂浮搬运系统,其特征在于:由自如申请专利范围第5.6.7或8项记载之移送部之中所选择之移送部和自如申请专利范围第9.10或11项记载之控制单元之中所选择之控制单元组合而成。图式简单说明:第一图系表示实施例Ⅰ之移送部之立体图。第二图系表示第一图之Ⅰ-Ⅰ剖面之剖面图。第三图系表示第二图之Ⅱ-Ⅱ剖面之剖面图。第四图系表示实施例1之移动部之剖面图。第五图系表示实施例2之移送部之立体图。第六图系表示第五图之Ⅲ-Ⅲ剖面之剖面图。第七图系表示第五图之Ⅳ-Ⅳ剖面之剖面图。第八图系用以说明实施例2之动作之剖面图。第九图系表示实施例3之移送部之立体图。第十图系表示第九图之Ⅴ-Ⅴ剖面之剖面图。第十一图系表示第九图之Ⅵ-Ⅵ之剖面图。第十二图系用以说明实施例3之动作之剖面图。第十三图系表示实施例4之控制单元之立体图。第十四图系表示第十三图之Ⅶ-Ⅶ剖面之剖面图。第十五图系表示定位销部之剖面图。第十六图系表示驱动销部之剖面图。第十七图系表示实施例5之控制单元之立体图。第十八图系表示第十七图之Ⅷ-Ⅷ剖面之剖面图。第十九图系表示实施例5之旋转部之安装之情况之剖面图。第二十图系表示该旋转部之旋转体之立体图。第二十一图系表示该旋转体之动作之说明图。第二十二图系表示习知之板状基体搬运系统之平面图。第二十三图系表示习知之移送单元之立体图。第二十四图系表示第二十三图之XⅠ-XⅠ剖面之剖面图。第二十五图系表示第二十三图之XⅡ-XⅡ剖面之剖面图。第二十六图系表示习知之移送单元之喷出方向之说明图。第二十七图系表示习知之控制单元之立体体。第二十八图系表示习知之移送单元之喷出方向之说明图。
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