Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen,申请号DE19951018717-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
摘要
申请公布号	DE19518717(C2)	申请公布日期	2001.01.11
申请号	DE19951018717	申请日期	1995.05.24
申请人	IGM ROBOTERSYSTEME AG, WIENER NEUDORF	发明人	ANDERL, PETER;BLOEMER, KLAUS;MUELLER, ALFRED;SCHWAB, ULRICH;HARTMANN, EBERHARD;MEHNERT, REINER;MENDE, ALEXANDER
分类号	B05D3/06;H01J33/02;(IPC1-7):H01J33/02;B41M7/00;C21D1/09;H01J37/065	主分类号	B05D3/06
代理机构		代理人
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