| 发明名称 |
DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PRODUCTS |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten mit mehreren Fertigungseinheiten (2) und Messeinheiten (3) in wenigstens einem Reinraum (4). Dort ist eine Anordnung von Bearbeitungsstationen (1) vorgesehen, welche wenigstens eine Fertigungs- (2) oder Messeinheit (3), einen an dieser angeordneten Fertigungspuffer zur Ablage von Halbleiterprodukten sowie ein Handhabungsgerät zum selbsttätigen Anliefern und Abtransportieren der Halbleiterprodukte aufweist, wobei die Bearbeitungsstationen (1) über ein Fördersystem (5) miteinander verbunden sind.
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| 申请公布号 |
WO0059003(A3) |
申请公布日期 |
2001.01.11 |
| 申请号 |
WO2000DE00942 |
申请日期 |
2000.03.24 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG;ELGER, JUERGEN |
发明人 |
ELGER, JUERGEN |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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