发明名称 Vorrichtung zur Reduzierung der Peakleistung einer Pulslaser-Lichtquelle
摘要 Bei einer Vorrichtung zur Reduzierung der Peakleistung einer Pulslaser-Lichtquelle, insbesondere für eine Projektionsbelichtungsanlage, ist in dem Strahlengang (1) wenigstens eine Strahlenteilereinrichtung (3, 4) angeordnet, durch die über reflektierende Bauteile (6, 7, 8 bzw. 12, 13, 14) eine Umwegleitung (5 bzw. 11) für wenigstens einen Teilstrahl (1b) mit anschließender Wiedervereinigung an einem Strahlvereinigungsglied (9, 15) mit dem oder den anderen Teilstrahlen (1b bzw. 10b) zu einem Gesamtstrahl erzeugt wird.
申请公布号 DE19931751(A1) 申请公布日期 2001.01.11
申请号 DE19991031751 申请日期 1999.07.08
申请人 FA. CARL ZEISS 发明人 SCHUSTER, KARL-HEINZ;BAUER, HARRY;EVA, ERIC
分类号 G02B27/09;G02B27/14;G03F7/20;H01L21/027;H01S3/10;(IPC1-7):G02B27/14;H01S3/225 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
主权项
地址