摘要 |
Bei einer Vorrichtung zur Reduzierung der Peakleistung einer Pulslaser-Lichtquelle, insbesondere für eine Projektionsbelichtungsanlage, ist in dem Strahlengang (1) wenigstens eine Strahlenteilereinrichtung (3, 4) angeordnet, durch die über reflektierende Bauteile (6, 7, 8 bzw. 12, 13, 14) eine Umwegleitung (5 bzw. 11) für wenigstens einen Teilstrahl (1b) mit anschließender Wiedervereinigung an einem Strahlvereinigungsglied (9, 15) mit dem oder den anderen Teilstrahlen (1b bzw. 10b) zu einem Gesamtstrahl erzeugt wird.
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