| 摘要 |
<p>Erfindungsgegenstand ist eine Beschleunigungsmesseinrichtung mit mikromechanischem Pendel, kapazitivem Abgriff und einem durch elektrostatische Kräfte rückstellenden Regelkreis, der in zeitsequentieller Folge eine rückstellende Spannung (U1,U2) , zwischen dem Pendel und zwei diesem im Abstand gegenüberstehenden Elektroden (E1,E2) anlegt. Erfindungsgemäss ist der Regelkreis so ausgelegt, dass die Spannungspegel (U1, U2) an den Elektroden so eingestellt werden, dass ber das Pendel (P) keine Differenzladung fliesst und damit auf beiden Seiten des Pendels eine gleich grosse Kraft wirkt, und dass zum anderen bei Pendelauslenkung aufgrund einer Beschleunigung die Zeitdauern der jeweils anliegenden Spannungsimpulse entsprechend der Beschleunigung verändert werden,wobei die Differenz der Zeitdauern der Beschleunigung entspricht.Durch diese Art einer gleichzeitigen Relegung zweier Komponenten wird der Regelbias (B) im wesentlichen zu Null. Bei gleichzeitig m^glicher zeitweiliger Umschaltung auf Erfassung der Summenladung als Stellgr^sse l{sst sich zus{tz-lich der Skalenfaktor (S) der Beschleunigungsmesseinrichtung regeln.</p> |
