片材检查系统

摘要

提供了一种检查系统,该系统用于检查玻璃基片的表面和体内缺陷。在检查期间,用一倾斜的气台支撑玻璃,以使平面稳定,并使振动最小。沿平行于气台的倾斜轴使玻璃片转位一给定的距离,然后静止玻璃片。扫描机构在气台的两侧有相应的部分。扫描机构对准气台中的缝隙,相对于玻璃片作横向移动。重复上述过程,直到玻璃片扫描完毕。

主权项

1．一种片材检查设备，其特征在于，包括：倾斜的气台，其所在的平面平行于第一轴，而第一轴与垂直方向成某个角度；用于使所述片材沿所述第一轴并且平行于所述气台移动，并且只沿所述片材的底边部分接触支撑所述片材的装置；供气装置，用于支撑所述片材，使其平行于所述气台，并离开所述气台一段所需的距离，从而避免与所述片材的表面部分发生物体接触；扫描装置；和用于使所述扫描装置沿第二轴移动的装置，其中第二轴横向越过所述片材的至少一个表面。